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MKS壓力控制器不同的型號有各種的優(yōu)勢特點，下面是我們?yōu)槟鷰淼拿绹鳰KS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征，歡迎您繼續(xù)往下閱讀！
1、美國MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品介紹
智能集成壓力控制解決方案可為困難的CVD工藝和一般真空應用提供精確控制。他們獨特的設(shè)計非常適合需要高性能和簡單集成到工藝工具中的應用。節(jié)氣門組件內(nèi)的所有控制、通信和驅(qū)動電路無需安裝單獨的電子模塊。集成壓力控制器與真空室一起使用，以控制進入和離開真空室的氣流。MKS集成壓力控制器包括Baratron®壓力測量、電磁流量控制閥和集成控制電子設(shè)備。PPCA壓力控制器為關(guān)鍵工藝應用提供壓力測量和控制，例如背面晶圓壓力控制、傳輸室壓力控制和工藝氣體面板壓力平衡。該裝置可配置用于上游（入口）或下游（出口）壓力控制。這是在一個緊湊的封裝中完成的，與以前完成任務(wù)所需的多組件系統(tǒng)相比，節(jié)省了關(guān)鍵空間。
2、美國MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特征
PPCA利用MKS Instruments領(lǐng)先的Baratron®電容壓力計技術(shù)進行壓力測量。它與比例控制閥和最新的控制電子設(shè)備集成在一起，提供快速、準確的壓力控制，并通過關(guān)鍵流量監(jiān)控作為系統(tǒng)診斷。PPCA可配置為10至1000 Torr滿量程壓力，控制范圍為滿量程的5至100%。這種可配置性使該器件適用于傳輸室壓力控制、關(guān)鍵背面晶圓壓力控制以及運行排氣壓力控制應用。根據(jù)工藝條件，控制閥可配置為5至5000 sccm滿量程的滿量程流量。PPCA配備數(shù)字（DeviceNet™或EtherCAT®）I/O，可直接集成到新應用或改造應用中。該設(shè)備的微型USB用戶界面增強了現(xiàn)場調(diào)節(jié)和組件診斷功能，幾乎可以通過任何帶有網(wǎng)絡(luò)瀏覽器的PC進行訪問。
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3、美國MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品模擬輸出
1249可由±15 VDC或24 VDC的常用電源供電，功耗不到一瓦（不包括閥門）。它接受來自PC、PLC或其他系統(tǒng)控制器的0-5 VDC、0-10 VDC或4-20 mA控制信號輸入。1249的輸出信號經(jīng)過定制，可滿足148或248比例控制閥的要求。如果施加到1249的電源為±15 VDC或+30 VDC，則1249還可用于驅(qū)動154閥。
4、美國MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品特點
①背面晶圓冷卻
②對設(shè)定點的快速響應，超調(diào)最小
③金屬密封、潔凈室制造的裝置滿足關(guān)鍵的高純度應用需求
④溫度補償可在其工作溫度范圍內(nèi)保持器件精度
5、美國MKS壓力控制器PPCA產(chǎn)品規(guī)格
①壓力范圍：10、20、50、100、200、500或1000 Torr滿量程
②流量：50、200、1000、5000、10000、20000、30000、50000（sccm）
③壓力分辨率：0.1托
④配件類型：Swagelok®4 VCR外螺紋
⑤壓力控制精度：讀數(shù)的±1.0%（≥10%滿量程）滿量程的±0.2%（小于10%滿量程）
⑥傳感器超壓限制：所有量程均為2x滿量程
⑦最大壓差：45磅/平方英寸
⑧爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑨控制方式：上游或下游
⑩壓力測量精度：讀數(shù)的±0.5%
?零溫度系數(shù)：滿量程的±0.02%/°C
?跨度溫度系數(shù)：±0.04%讀數(shù)/°C
?控制范圍：大于滿量程的5至100%
?典型響應時間：小于1.0秒（不包括系統(tǒng)時間常數(shù)）
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